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Kalibrierung von Tieftemperatursensoren

Industrie und Forschungsinstitute

Dr. rer. nat. Matthias Schneider

+49-351-4081-609

Vergleichsmessung von Tieftemperaturthermometern

Korrektes und zuverlässiges Messen ist die Voraussetzung für eine hoch qualifizierte Forschung und Industrieproduktion. Mit Hilfe der Vergleichsmessung können folgende Sensoren kalibriert werden:

  • Widerstandsthermometer mit positiven Temperaturkoeffizienten (z.B. Platin- und Rhodiumeisen-Widerstandsthermometer)
  • Widerstandsthermometer mit negativen Temperaturkoeffizienten (z.B. Cernox™- und Germanium-Thermometer) 
  • Dioden und Thermoelemente.

Der Messplatz ist automatisiert und über einen PC ansteuerbar. Damit werden Temperaturen entsprechend einer Stützstellentabelle angefahren. Die Kalibrierung erfolgt an Sekundärthermometern, die von autorisierten Stellen durch Vergleich an Normalgeräten kalibriert wurden. Zusätzlich wird bei jeder Kalibrierung eine Fixpunktüberprüfung (bei LHe oder LN2) durchgeführt. Für den Tieftemperaturbereich steht ein kalibrierter Cernox-Sensor zur Verfügung. Eine Erweiterung des Messplatzes erlaubt nun die gleichzeitige Kalibrierung von ca. 20 Sensoren.

Parameter

MessgrößeMinimalMaximal
Messbereich1,5 K350 K
Messgenauigkeit5 mK (1,5 ... 4,2 K)50 mK (80 ... 350 K)
Probendimensionübliche Sensorpackages 
Probenpräparationnicht erforderlich 

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