Am ILK Dresden wurde eine Befeuchtungsanlage entwickelt und aufgebaut, die speziell für Forschungsanlagen geeignet ist, bei denen sehr tiefe Taupunkttemperaturen eingestellt werden müssen und gleichzeitig eine hohe Gasreinheit gewährleistet sein muss. Kernkomponente ist ein PermaPure^® Befeuchter mit Nafion^® Feuchteaustausch. Die Befeuchtungsanlage regelt über eine Bypassmischung mit trockenem Gas den Taupunkt exakt ein und übernimmt auch die automatische Befüllung evakuierter Behälter mit konstantem Massenstrom. Dabei ist die Regelung so optimiert, dass eine Rekondensation ausgeschlossen ist. Über eine Schnittstelle lässt sich die Befeuchtung von einem beliebigen Anlagensystem steuern. Tabelle 1 zeigt die technischen Daten einer für das KIT in Karlsruhe realiserten Befeuchtungsanlage für die Befeuchtung synthetischer Luft. Diese Anlage lässt sich für andere Anwendungen adaptieren, dabei können alle Parameter bezüglich der jeweiligen Anforderung angepasst werden.